截至2026年5月21日 10:35，上证科创板半导体材料设备主题指数(950125)强势上涨2.95%，成分股华兴源创上涨15.51%，拓荆科技上涨9.36%，中微公司上涨8.29%，芯源微，华海清科等个股跟涨。科创半导体ETF华夏(588170)上涨2.68%， 冲击5连涨。最新价报2.79元。拉长时间看，截至2026年5月20日，科创半导体ETF华夏近1周累计上涨17.40%。（以上所列股票仅为指数成份股，无特定推荐之意）

　　流动性方面，科创半导体ETF华夏盘中换手率19%，成交额22.00亿元，市场交投活跃。拉长时间看，截至5月20日，科创半导体ETF华夏近1周日均成交额23.29亿元，居可比基金第一。

　　规模方面，科创半导体ETF华夏最新规模达114.38亿元，创近1年新高。（数据来源：Wind）

　　从资金净流入方面来看，科创半导体ETF华夏近5天获得连续资金净流入，最高单日获得5.18亿元净流入，合计“吸金”8.37亿元，日均净流入达1.67亿元。（数据来源：Wind）

　　截至5月20日，科创半导体ETF华夏近1年净值上涨178.08%，指数股票型基金排名29/3863，居于前0.75%。科创半导体ETF华夏成立以来超越基准年化收益为3.50%。

　　跟踪精度方面，截至2026年5月20日，科创半导体ETF华夏今年以来跟踪误差为0.007%，在可比基金中跟踪精度最高。

　　科创半导体ETF华夏(588170)，场外联接(华夏上证科创板半导体材料设备主题ETF发起式联接A：024417；华夏上证科创板半导体材料设备主题ETF发起式联接C：024418)。