截至2026年5月21日 10:55，中证半导体材料设备主题指数(931743)上涨0.68%，成分股联动科技上涨8.62%，北方华创上涨6.72%，江化微上涨4.80%，盛美上海上涨4.19%，拓荆科技上涨2.54%。半导体设备ETF华夏(562590)上涨0.42%， 冲击5连涨。最新价报2.84元。拉长时间看，截至2026年5月20日，半导体设备ETF华夏近1周累计上涨14.74%。

　　流动性方面，半导体设备ETF华夏盘中换手率12.65%，成交额5.06亿元，市场交投活跃。拉长时间看，截至5月20日，半导体设备ETF华夏近1周日均成交额4.70亿元。

　　规模方面，半导体设备ETF华夏最新规模达39.17亿元，创近1年新高。（数据来源：Wind）

　　资金流入方面，半导体设备ETF华夏最新资金净流入2.54亿元。拉长时间看，近5个交易日内有3日资金净流入，合计“吸金”3.11亿元，日均净流入达6211.78万元。（数据来源：Wind）

　　截至5月20日，半导体设备ETF华夏近6月净值上涨89.83%。

　　跟踪精度方面，截至2026年5月20日，半导体设备ETF华夏今年以来跟踪误差为0.013%，在可比基金中跟踪精度最高。

　　半导体设备ETF华夏(562590)，场外联接(华夏半导体材料设备ETF联接A：020356；华夏半导体材料设备ETF联接C：020357)。