截至2026年5月22日 14:02，上证科创板半导体材料设备主题指数(950125)上涨0.36%，成分股耐科装备上涨9.94%，天岳先进上涨7.56%，晶升股份上涨6.19%，和林微纳上涨5.82%，兴福电子上涨4.87%。科创半导体ETF华夏(588170)上涨0.04%，最新价报2.54元。拉长时间看，截至2026年5月21日，科创半导体ETF华夏近1周累计上涨9.84%。

　　流动性方面，科创半导体ETF华夏盘中换手21.54%，成交25.55亿元，市场交投活跃。拉长时间看，截至5月21日，科创半导体ETF华夏近1周日均成交30.23亿元，排名可比基金第一。

　　规模方面，科创半导体ETF华夏最新规模达119.66亿元，创近1年新高，位居可比基金1/3。（数据来源：Wind）

　　份额方面，科创半导体ETF华夏最新份额达47.33亿份，创近1月新高，位居可比基金1/3。（数据来源：Wind）

　　从资金净流入方面来看，科创半导体ETF华夏近6天获得连续资金净流入，最高单日获得13.91亿元净流入，合计“吸金”22.28亿元，日均净流入达3.71亿元。（数据来源：Wind）

　　相关ETF：科创半导体ETF华夏（588170）及其联接基金（A类：024417；C类：024418）：跟踪指数是科创板唯一的半导体设备主题指数，其中存储芯片含量近80%，先进封装含量在全市场中最高（约59%），聚焦于科技创新前沿的硬核设备公司。

　　半导体设备ETF华夏（562590）及其联接基金（A类：020356；C类：020357）：跟踪中证半导体材料设备主题指数，其中半导体设备的含量在全市场指数中最高（约63%），直接受益于全球芯片涨价潮对“卖铲人”（设备商）的确定性需求。