截至2026年5月25日 10:35，上证科创板半导体材料设备主题指数(950125)上涨0.41%，成分股华兴源创上涨20.00%，盛美上海上涨10.71%，艾森股份上涨7.68%，中芯国际上涨6.98%，天岳先进上涨5.49%。科创半导体ETF华夏(588170)上涨0.31%，最新价报2.58元。拉长时间看，截至2026年5月22日，科创半导体ETF华夏近1周累计上涨6.38%，涨幅排名可比基金1/3。（以上所列股票仅为指数成份股，无特定推荐之意）

　　流动性方面，科创半导体ETF华夏盘中换手率13.6%，成交额16.13亿元，市场交投活跃。拉长时间看，截至5月22日，科创半导体ETF华夏近1周日均成交额31.87亿元，排名可比基金第一。

　　规模方面，科创半导体ETF华夏近1周规模增长22.08亿元，实现显著增长。（数据来源：Wind）

　　资金流入方面，科创半导体ETF华夏近5个交易日内有4日资金净流入，合计“吸金”18.92亿元，日均净流入达3.78亿元。（数据来源：Wind）

　　截至5月22日，科创半导体ETF华夏近1年净值上涨166.77%，指数股票型基金排名32/3878，居于前0.83%。科创半导体ETF华夏成立以来超越基准年化收益为3.30%。

　　跟踪精度方面，截至2026年5月22日，科创半导体ETF华夏今年以来跟踪误差为0.007%，在可比基金中跟踪精度最高。

　　科创半导体ETF华夏(588170)，场外联接(华夏上证科创板半导体材料设备主题ETF发起式联接A：024417；华夏上证科创板半导体材料设备主题ETF发起式联接C：024418)。