截至6月3日收盘，光刻机概念上涨2.25%，位居概念板块涨幅第7，板块内，32股上涨，华特气体20%涨停，广立微、美迪凯、苏大维格等涨幅居前，分别上涨17.82%、12.86%、11.15%。跌幅居前的有电科数字、中船特气、百傲化学等，分别下跌10.00%、4.86%、3.93%。

　　今日涨跌幅居前的概念板块

　　资金面上看，今日光刻机概念板块获主力资金净流入15.42亿元，其中，28股获主力资金净流入，7股主力资金净流入超亿元，净流入资金居首的是大族激光，今日主力资金净流入6.61亿元，净流入资金居前的还有华特气体、泰晶科技、腾景科技等，主力资金分别净流入5.02亿元、3.67亿元、1.52亿元。

　　资金流入比率方面，华特气体、泰晶科技、茂莱光学等流入比率居前，主力资金净流入率分别为18.78%、13.30%、13.08%。（数据宝）

　　光刻机概念资金流入榜