截至2026年6月3日 09:50，上证科创板半导体材料设备主题指数(950125)强势上涨2.02%，成分股和林微纳上涨9.26%，上海合晶上涨6.27%，沪硅产业上涨5.95%，有研硅，兴福电子等个股跟涨。科创半导体ETF华夏(588170)上涨2.23%，最新价报2.39元。拉长时间看，截至2026年6月2日，科创半导体ETF华夏近1月累计上涨18.65%，涨幅排名可比基金1/3。（以上所列股票仅为指数成份股，无特定推荐之意）

　　流动性方面，科创半导体ETF华夏盘中换手率5.32%，成交额5.22亿元。拉长时间看，截至6月2日，科创半导体ETF华夏近1周日均成交额26.95亿元，排名可比基金第一。

　　规模方面，科创半导体ETF华夏近3月规模增长10.38亿元，实现显著增长。（数据来源：Wind）

　　资金流入方面，科创半导体ETF华夏近10个交易日内，合计“吸金”4.66亿元。（数据来源：Wind）

　　截至6月2日，科创半导体ETF华夏近1年净值上涨145.43%，指数股票型基金排名42/3902，居于前1.08%。科创半导体ETF华夏成立以来超越基准年化收益为2.70%。

　　跟踪精度方面，截至2026年6月2日，科创半导体ETF华夏今年以来跟踪误差为0.011%，在可比基金中跟踪精度最高。

　　科创半导体ETF华夏(588170)，场外联接(华夏上证科创板半导体材料设备主题ETF发起式联接A：024417；华夏上证科创板半导体材料设备主题ETF发起式联接C：024418)。