截至6月4日收盘，光刻机概念上涨2.77%，位居概念板块涨幅第4，板块内，34股上涨，中船特气20%涨停，华亚智能、晶方科技、旭光电子等涨停，华特气体、新莱应材、芯碁微装等涨幅居前，分别上涨15.50%、11.99%、11.32%。跌幅居前的有电科数字、炬光科技、腾景科技等，分别下跌8.70%、4.67%、3.78%。

　　今日涨跌幅居前的概念板块

　　资金面上看，今日光刻机概念板块获主力资金净流入26.31亿元，其中，27股获主力资金净流入，7股主力资金净流入超亿元，净流入资金居首的是大族激光，今日主力资金净流入10.39亿元，净流入资金居前的还有晶方科技、旭光电子、珂玛科技等，主力资金分别净流入8.09亿元、3.39亿元、1.45亿元。

　　资金流入比率方面，旭光电子、晶方科技、大族激光等流入比率居前，主力资金净流入率分别为25.90%、16.88%、11.62%。（数据宝）

　　光刻机概念资金流入榜