消息面上，据买化塑研究院监测，截止至目前，中国纯度为99.999%六氟化钨价格1670-1810元/kg，价格较去年同期（523元/kg）涨幅达232.7%。韩国SK Specialty、Foosung等核心供应商已正式通知三星电子、SK海力士等芯片巨头，将于2026年大幅上调六氟化钨价格，涨幅预计高达70%至90%。
山西证券指出，六氟化钨是AI芯片、3nm/5nm/7nm先进制程不可替代的核心材料，伴随存储芯片向300+层堆叠升级，单片晶圆钨沉积用量持续提升。市场需求高景气加之海外供给不足，国内六氟化钨迎来高速发展期，整体呈现量价齐升格局。据海关总署发布六氟化钨出口数据，2026年1月-4月，六氟化钨出口均价由68.75美元/公斤增长至149.79美元/公斤，增幅超100%。出口量方面，今年1月-4月六氟化钨出口量共计156.03吨，同比增长7.10%。建议关注国内六氟化钨供应商
截至2026年6月10日 09:58，上证科创板半导体材料设备主题指数(950125)强势上涨3.37%，成分股中船特气上涨12.83%，华海诚科上涨8.37%，中巨芯上涨8.34%，沪硅产业，有研硅等个股跟涨。科创半导体设备ETF鹏华(589020)上涨3.21%，最新价报2.12元。科创芯片ETF鹏华(588920)上涨2.83%，最新价报2.29元。
科创半导体设备ETF鹏华紧密跟踪上证科创板半导体材料设备主题指数，上证科创板半导体材料设备主题指数选取科创板内业务涉及半导体材料和半导体设备等领域的上市公司证券作为指数样本，以反映科创板半导体材料和设备上市公司证券的整体表现。
数据显示，截至2026年5月29日，上证科创板半导体材料设备主题指数(950125)前十大权重股分别为拓荆科技、华海清科、中微公司、沪硅产业、中科飞测、芯源微、华峰测控、安集科技、天岳先进、中船特气，前十大权重股合计占比72.71%。
