
6月10日,A股电子特气概念持续活跃,中船特气涨超16%,昊华科技、和远气体、杭氧股份、雅克科技、三孚股份涨停,中泰股份涨超6%,广钢气体涨超5%,凯美特气、金宏气体等涨超4%。
消息面上,据媒体报道,当前中国纯度99.999%六氟化钨价格为1670–1810元/kg,同比去年523元/kg上涨232.7%。韩国SKSpecialty、Foosung等供应商已通知三星电子、SK海力士等,拟于2026年上调六氟化钨价格,涨幅预计达70%–90%。
电子气体是指纯度、杂质含量等技术指标符合特定要求,可应用于集成电路、液晶面板、光纤通信等半导体及电子产品生产领域的气体,其中集成电路制造是电子气体最大的应用领域,占电子气体总需求的60%以上。在集成电路制造中,电子特气是第二大制造材料,仅次于硅片,占晶圆制造材料成本的13%-15%。
据深企投研报,电子特气类别繁多,仅在半导体工业中应用的就有110余种,其中常用的超过30种。按照化学成分分类,电子特种气体包括含氟气体(如四氟化碳、三氟化氮、六氟化钨)、含硅气体(如硅烷)、氢化物(如磷烷、砷烷)、卤化物、稀有气体及其混合气等。
六氟化钨是电子特气中含氟气体的一种,主要作为化学气相沉积(CVD)中的核心前驱体,用于在晶圆中形成钨薄膜、接触孔和通孔等导电结构,从而实现芯片内部电信号连接。
东北证券指出,六氟化钨海外市场主要由中日韩厂商主导,目前遭遇供应链紧张局面。日韩市场的核心供应商包括日本的关东电化与中央硝子,以及韩国SKSpecialty等。
其中,两家日本企业合计约占全球供应量的25%,但其生产高度依赖从中国进口的钨粉原料。当前日本供应商正面临原材料获取困难,并计划在今年下半年削减产量。六氟化钨产业景气度有望持续上行,国内产能有望充分受益。
