截至6月11日收盘，光刻机概念上涨2.74%，位居概念板块涨幅第3，板块内，28股上涨，华特气体、炬光科技、江丰电子等20%涨停，凯美特气、旭光电子等涨停，福光股份、中船特气、泰晶科技等涨幅居前，分别上涨19.98%、19.79%、7.50%。跌幅居前的有沃格光电、洪田股份、华辰装备等，分别下跌10.00%、5.95%、4.34%。

　　今日涨跌幅居前的概念板块

　　资金面上看，今日光刻机概念板块获主力资金净流入18.86亿元，其中，27股获主力资金净流入，10股主力资金净流入超亿元，净流入资金居首的是泰晶科技，今日主力资金净流入3.90亿元，净流入资金居前的还有旭光电子、江丰电子、炬光科技等，主力资金分别净流入3.50亿元、3.06亿元、2.98亿元。

　　资金流入比率方面，凯美特气、炬光科技、泰晶科技等流入比率居前，主力资金净流入率分别为23.21%、16.34%、12.99%。

　　光刻机概念资金流入榜