截至2026年6月17日 09:59，半导体设备ETF易方达(159558)盘中换手2.59%，成交2.14亿元。

　　截至6月16日，半导体设备ETF易方达(159558)近3月规模增长33.36亿元，近1月份额增长2.44亿份，实现显著增长。资金流入方面，半导体设备ETF易方达(159558)最新资金净流入979.38万元。拉长时间看，近22个交易日内，合计“吸金”7.84亿元。

　　消息面上，日前，应用材料推出新型沉积与选择性刻蚀系统，助力3D芯片尺寸微缩。新系统可在高深宽比3D逻辑和存储芯片结构中实现精密的材料工程处理。Centris Spectral SiN ALD采用创新的微波等离子体技术，在复杂的3D结构中实现均匀的氮化硅沉积。Producer Selectra Mo Etch可选择性地去除钼以实现字线隔离，从而助力3D NAND存储器的尺寸微缩。领先的逻辑和存储芯片制造商正将这些新系统应用于先进制程节点的制造。

　　中信证券指出，全球景气周期持续确认，看好半导体产业趋势，关注零部件涨价情况。零部件环节是本轮行情弹性最大的方向。全球半导体设备零部件正经历一轮历史罕见的全链条涨价潮。半导体产业链的定价权正从芯片终端向设备与零部件环节结构性上移。

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　　半导体设备ETF易方达（159558）跟踪中证半导体材料设备主题指数（931743），该指数选取沪深市场半导体材料和设备领域上市公司为样本，综合费率0.60%

　　芯片ETF易方达（516350）跟踪中证芯片产业指数，综合费率0.20%

　　科创芯片ETF易方达（589130）跟踪上证科创板芯片指数，综合费率0.60%

　　科创芯片设计ETF易方达（589030）跟踪上证科创板芯片设计主题指数，综合费率0.60%