截至6月24日收盘，光刻机概念上涨3.82%，位居概念板块涨幅第4，板块内，36股上涨，华亚智能、永新光学等涨停，珂玛科技、茂莱光学、中润光学等涨幅居前，分别上涨14.15%、13.73%、13.51%。跌幅居前的有华特气体、华辰装备、东方嘉盛等，分别下跌4.64%、4.50%、3.11%。

　　今日涨跌幅居前的概念板块

　　资金面上看，今日光刻机概念板块获主力资金净流入13.43亿元，其中，28股获主力资金净流入，7股主力资金净流入超亿元，净流入资金居首的是晶方科技，今日主力资金净流入4.57亿元，净流入资金居前的还有大族激光、茂莱光学、江丰电子等，主力资金分别净流入4.02亿元、2.44亿元、2.31亿元。

　　资金流入比率方面，永新光学、茂莱光学、福光股份等流入比率居前，主力资金净流入率分别为14.18%、13.15%、7.75%。（数据宝）

　　光刻机概念资金流入榜