截至9:41，中证半导体材料设备主题指数上涨4.6%，成份股中，上海合晶上涨17.2%，中科飞测上涨11.3%，有研硅上涨9.5%，南大光电上涨8.4%。同花顺iFinD数据显示，截至昨日，半导体设备ETF易方达（159558）已连续5天获资金净流入，合计约20亿元。 近日，国产ArF光刻胶取得重大突破，已打破日系厂商长期垄断。光刻胶占晶圆制造成本5%至6%，日系厂商垄断期间对中国客户实行差别定价，同规格产品报价远高于其他地区厂商。如今国产ArF光刻胶比日系产品便宜20%至30%，KrF产品价差更为显著，半导体材料国产化从“能用”迈向“好用”，上游材料与设备环节同步受益。 机构指出，涂胶显影、量检测、光刻等环节国产化率仍低于25%，国产化空间广阔，半导体设备材料正迎来黄金窗口期。 中证半导体材料设备主题指数聚焦半导体材料、设备及零部件等产业链上游核心环节，是布局半导体国产化的便捷工具。半导体设备ETF易方达（159558，联接基金A/C：021893/021894）跟踪该指数，助力投资者把握半导体产业景气上行机遇。