6月29日早盘，国产半导体设备板块高开，半导体设备ETF招商（561980）开盘涨超1%，神工股份涨超13%，南大光电、雅克科技、有研硅、江化微等涨超5%。数据显示，前一交易日，资金净流入半导体设备ETF招商（561980）超9600万元，连续6个交易日净流入超10亿元。拉长时间来看，该ETF年内累计涨幅约107%。

　　产业面受多重利好密集催化。

　　大基金三期高调入场，战略投资龙头企业。中微公司6月25日发布公告，其收购杭州众硅电子科技有限公司配套募资发行认购工作顺利完成，15亿元配套资金全部落地，国家大基金三期、上海浦东新兴产业投资有限公司两大战略资本入局。本次15亿元配套募资中，国家大基金三期认购占比53.33%，地方国资上海浦东新兴产业投资有限公司认购40%。并购落地后，中微公司将同时具备刻蚀、薄膜沉积、量检测、湿法（CMP）四大前道核心工艺能力，向平台型设备公司全面跃升。

　　另一方面，国内存储龙头上市进程加速，证监会6月12日批准长鑫科技科创板IPO，融资295亿元全部投向DRAM晶圆制造量产线升级（总投资规模达345亿元），长江存储亦已启动上市辅导备案，国内存储扩产的资本开支锚定效应开始显现。

　　全球层面，半导体价格周期向上趋势加速确认。据财联社等相关媒体报道，由于AI算力集群功耗激增，功率半导体正成为存储之后的产业新增长引擎，行业再掀起一轮涨价潮。德州仪器、英飞凌、意法半导体相继发布调价函，将新价生效日锁定7月1日。国产厂商扬杰科技、珠海极海半导体等随后全线跟进。

　　中原证券统计，2026年一季度半导体设备板块营收同比增长27.37%至276.84亿元，归母净利润同比跳升53.62%至47.70亿元，在手订单仍处于相对较好水平，景气向上趋势明确。

　　国金证券指出，半导体产业链逆全球化背景下，国产设备在下游加快验证导入，国产半导体设备已进入“收入与利润双升”阶段。

　　开源证券强调AI需求爆发与大厂减产共振驱动晶圆厂启动第二轮代工涨价，硅基产线全面满载，涨价周期有望持续延伸。

　　资料显示，半导体设备ETF招商（561980）跟踪中证半导体产业指数，上游设备+材料占比约80%，全面覆盖中微公司、北方华创、拓荆科技、沪硅产业、南大光电和寒武纪、海光信息、中芯国际等细分龙头。根据Wind数据，截至6月25日，中证半导体产业指数年内涨幅达104.10%，实现翻番。长期表现更为突出，自2020年初以来累计涨幅达575.91%，显著跑赢科创芯片（408.76%）、半导体材料设备（421.53%）、芯片产业（312.70%）等指数同期涨幅。