半导体设备材料午后持续冲高，消息面上，Omdia认为，AI普及为提升中国本土半导体自给率创造巨大空间，国产算力芯片与AI模型的“芯模协同”将推动本土产能利用率提升。

　　国金证券指出，当前，半导体产业链的自主可控已成为国家战略。中国半导体设备国产化率已由2019年的14%提升至2025年的24%，但光刻、薄膜沉积、量检测等关键环节国产化率仍低于25%，替代空间广阔。在外部限制下，国内晶圆厂愿意给国产设备更多验证机会，形成“验证-导入-放量”的良性循环。国家“十五五”规划、大基金三期等政策与资本双轮驱动，为国产设备的销售提供了强有力的支持，国产替代正从“被动选择”走向“主动选择”。

　　截至2026年7月9日 13:35，上证科创板半导体材料设备主题指数(950125)强势上涨4.61%，成分股上海合晶上涨19.99%，有研硅上涨19.10%，艾森股份上涨18.68%，恒坤新材，华海诚科等个股跟涨。科创半导体设备ETF鹏华(589020)上涨4.29%， 冲击3连涨。最新价报3.21元。

　　科创半导体设备ETF鹏华紧密跟踪上证科创板半导体材料设备主题指数，上证科创板半导体材料设备主题指数选取科创板内业务涉及半导体材料和半导体设备等领域的上市公司证券作为指数样本，以反映科创板半导体材料和设备上市公司证券的整体表现。

　　数据显示，截至2026年6月30日，上证科创板半导体材料设备主题指数(950125)前十大权重股分别为华海清科、中微公司、中科飞测、拓荆科技、华峰测控、芯源微、沪硅产业、盛美上海、安集科技、富创精密，前十大权重股合计占比71.12%。