恒运昌:截至2025年年底,公司已授权专利共296项
来源:证券日报
证券日报网7月13日讯 ,恒运昌在接受调研者提问时表示,经过十多年的持续正向研发、不断创新和积累,公司建立了“基石技术+产品化支撑技术”的技术体系,一方面从测量、控制及架构三方面构建了底层通用的3大基石技术,并基于基石技术,结合半导体设备中应用,特别是先进制程中更快速、更精准、更稳定的应用诉求和实现难点,发展出8大产品化支撑技术,实现了突破高端等离子体射频电源系统的先进设计、测量和控制等难题,掌握了信号采样及处理、相位同步锁定、快速调频、脉冲控制等等离子体射频电源系统运行中的关键技术。截至2025年年底,公司已授权专利共296项,包括发明专利123项,实用新型专利72项,外观设计专利101项。截至2025年年底,公司已累计申请490项专利,其中发明专利262项,占比53.47%。
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