截至7月21日收盘，光刻机概念上涨8.43%，位居概念板块涨幅第6，板块内，48股上涨，波长光电20%涨停，沃格光电、大族激光、中瓷电子等涨停，富创精密、江丰电子、芯碁微装等涨幅居前，分别上涨19.57%、18.97%、17.28%。跌幅居前的有*ST和科、东方嘉盛等，分别下跌8.10%、1.22%。

　　今日涨跌幅居前的概念板块

　　资金面上看，今日光刻机概念板块获主力资金净流入7.10亿元，其中，20股获主力资金净流入，5股主力资金净流入超5000万元，净流入资金居首的是江丰电子，今日主力资金净流入4.04亿元，净流入资金居前的还有芯碁微装、大族激光、晶方科技等，主力资金分别净流入2.81亿元、2.57亿元、1.57亿元。

　　资金流入比率方面，芯碁微装、晶方科技、江丰电子等流入比率居前，主力资金净流入率分别为8.07%、7.97%、6.46%。（数据宝）

　　光刻机概念资金流入榜