21世纪经济报道记者赵云帆
近日，由上海证券交易所、中国上市公司协会、中证中小投资者服务中心、国联民生证券联合南方财经全媒体集团开展的“我是股东”走进沪市上市公司系列活动，落地微导纳米。数十位投资者走进这家深耕薄膜沉积技术的半导体设备企业，近距离了解我国半导体设备产业自主可控的喜人进展。
微导纳米2015年成立于无锡，2022年12月登陆科创板，是国内半导体ALD（原子层沉积）设备的龙头企业。ALD设备主要用于芯片制造中的高精度薄膜沉积工序。该环节的目的是在晶圆上形成具有特定导电、绝缘或阻挡功能的薄层，为后续光刻、刻蚀等工序构建基础结构。
活动当天，投资者在微导纳米工作人员的陪同下，先后参观了公司展厅与研发制造车间。在随后的交流环节，上海证券交易所投资者服务部副总监戴予佳致辞，微导纳米董事会秘书龙文介绍了公司基本情况，国联民生证券研究所分析师周晓萌则就半导体设备行业发展趋势与投资价值作了分享。
ALD设备此前长期被国外厂商垄断，微导纳米则通过坚持不懈的研发，成为我国实现ALD设备自主可控的先锋企业。目前，公司形成了以ALD技术为核心、CVD等多种真空薄膜技术梯次发展的产品体系，业务覆盖半导体制造前道工艺与高效太阳能电池片制造两大板块。公司还是国内首家将量产型High-k ALD设备应用于集成电路制造前道生产线的国产设备厂商。2025年，公司多款ALD和CVD设备通过重点客户验证并实现量产导入，半导体设备业务收入8.81亿元，同比增长169.12%，产品工艺覆盖度持续提升，相关产品已广泛应用于逻辑芯片、存储芯片、先进封装、新型显示和化合物半导体等领域。
当前，全球算力需求爆发推动半导体自主可控进程加速，设备国产化率稳步提升。以ALD为代表的核心工艺设备国产化进程明显提速，龙头企业在技术突破、客户验证与批量供货上全面发力。微导纳米持续加大研发投入，半导体业务收入占比逐步提升。
在互动问答环节，投资者就公司业务布局、技术进展及行业前景等问题与公司管理层进行了交流。活动尾声，上交所向微导纳米赠送了“我是股东”纪念奖杯。
自2013年“我是股东”系列活动启动以来，上交所已通过线上线下形式带领数百万名投资者参与互动，并实地走访上市公司超过2000家次。2026年，上交所联合各合作单位开展“我最想走进的沪市公司”网络投票活动，根据投票结果确定调研走访标的，旨在将投资者视角具象化，展现股东知情权行权实践，传播理性投资、价值投资、长期投资理念。
