资金持续流入半导体设备板块，科创半导体设备ETF鹏华(589020)近10天获得连续资金净流入，最高单日获得9.42亿元净流入，合计“吸金”23.30亿元，日均净流入达2.33亿元。消息面上，在过去一个月的震荡行情中，大量资金借道ETF进场，除了宽基ETF外，多只行业主题ETF也获资金青睐。其中，半导体主题ETF热度最高。此外，全球半导体设备支出持续攀升，AI算力与存储复苏双轮驱动行业高景气。
中信建投证券指出，SEMI预测2026年全球半导体制造设备销售额将达1659亿美元，同比增长23.2%，并有望在2028年突破2295亿美元，实现连续五年增长。台积电已上调2026年资本开支至600-640亿美元，ASML业绩亦全面超预期，反映行业结构性上行趋势明确。同时，设备零部件正经历全链条涨价潮，海外交期延长进一步强化国产替代逻辑。
截至2026年8月3日 15:00，上证科创板半导体材料设备主题指数(950125)成分股方面，中科飞测领跌12.59%，华海清科下跌11.67%，京仪装备下跌11.09%，芯源微下跌11.04%，富创精密下跌11.01%。科创半导体设备ETF鹏华(589020)最新报价2.02元。
科创半导体设备ETF鹏华紧密跟踪上证科创板半导体材料设备主题指数，上证科创板半导体材料设备主题指数选取科创板内业务涉及半导体材料和半导体设备等领域的上市公司证券作为指数样本，以反映科创板半导体材料和设备上市公司证券的整体表现。
数据显示，截至2026年7月31日，上证科创板半导体材料设备主题指数(950125)前十大权重股分别为华海清科、中微公司、中科飞测、拓荆科技、华峰测控、芯源微、安集科技、中船特气、盛美上海、沪硅产业，前十大权重股合计占比76.71%。
