中微公司披露业绩预告，预计2026年半年度营业收入约66.91亿元，同比增长约34.89%；归属于母公司所有者的净利润为27亿元到29亿元，同比增加282.48%到310.81%；扣除非经常性损益的净利润为10亿元到12亿元，同比增加85.61%到122.73%。上年同期营业收入49.61亿元，归母净利润7.06亿元，扣非净利润5.39亿元。公司已开发出54种高端半导体设备，包括26种高能和低能等离子体刻蚀机设备，24种各类薄膜设备、化学机械抛光设备和量检测设备。刻蚀和薄膜设备的加工的精度已经达到了原子级水平。截至2026年6月底，公司累计已有超过8800个反应台在国内外220余条生产线实现量产。公司新产品研发速度显著加快。2026年上半年公司研发投入约20.42亿元，同比增加5.5亿元，同比增长约36.89%。