8月1日,中微公司在上海市临港新片区举行“中微大厦”落成暨22周年庆典。中微公司在临港新片区构建的“研发+生产+办公”格局全面形成,为其向平台化龙头企业迈进筑牢根基。

中微公司创始人、董事长兼总经理尹志尧回顾了中微公司22年来的创业历程。22年前,中微公司怀揣着“建立以中国为基地,全球一流的半导体设备公司”的初心,在张江一间不大的楼房里,踏上了“攀登之路”。如今,中微公司已开发出54种高端半导体设备,包括26种高能和低能等离子体刻蚀机设备,24种各类薄膜设备、化学机械抛光设备和量检测设备。刻蚀和薄膜设备的加工精度已达原子级水平。
截至2026年6月底,中微公司累计已有超过8800个反应台在国内外220余条生产线实现量产。自2012年至今,中微公司连续14年保持平均年销售35%以上的增长,人均年销售额达450万元,和国际领先的设备公司持平,但中微公司的人均成本不到国际公司的一半,劳动生产率远高于国际领先的设备公司。

图为:中微公司董事长尹志尧
尹志尧表示,中微公司正在加速推进“有机生长”与“外延拓展”相结合的三维立体生长战略。五年内,中微公司将通过自主开发与外延并购,覆盖至少60%、100多种半导体高端设备,到2035年在规模上、产品竞争力和客户满意度上成为全球第一梯队的半导体设备公司。中微公司的生产和研发厂房总面积将达90万平方米,是原有厂房面积的30倍,年生产能力将提升至700亿元以上。
中微公司持续践行“五个十大”的企业文化,凝练内部传承的“中微之书”,到2027年将对外出版《科创企业发展壮大的五个十大》。尹志尧表示:“我们的目标一定要达到!我们的目标一定能达到!”
坐落于滴水湖畔核心区域的“中微大厦”由主楼、辅楼组成,总占地面积约25亩,建筑面积约10.5万平方米,主楼高度100米,是滴水湖科技城内的地标性最高建筑。
楼宇搭载先进智能化管理系统,可实现办公资源统筹,持续赋能技术研发创新,全面提升企业运营管理效率。园区内配套设有屋顶景观花园、员工食堂、休闲活动空间等多元功能区域,营造舒适愉悦的办公环境。主楼与辅楼顶层设有“天穹之窗”,配备长达400米的巨幅LED屏,展现科技创新新时代的愿景;此外,也设有同样长达400米的餐厅、咖啡厅和茶室,未来将对外开放。
项目深度践行绿色发展理念,严格依照LEED金级、绿色建筑二星标准规划建设,着力打造低碳节能建筑载体,为公司2035年实现自身碳中和目标夯实基础。
中微公司22周年庆典晚会在临港锦江国际酒店顶科会堂举行,并举行了“上海中微儿童公益基金会”揭牌仪式。基金会发扬“自强不息、厚德载物”的精神,以推动公益事业发展为宗旨,重点资助困境儿童改善生活与成长条件,开展民政领域相关公益项目。
中微公司持续投身公益、传递温暖。自2021年起,公司携手上海市老年基金会开展助老项目,累计帮扶了700多户身患重病的特困老人和家庭,员工参与志愿公益时长超800小时。2021年中微公司援建南昌前坊小学,2025年先后与仁济医院儿童肝移植中心、上海儿童医学中心开展儿童重大疾病助医项目,救助了50多名濒危胆管疾病肝移植特困儿童,以及多名罹患白血病、恶性肿瘤和地中海贫血的贫困儿童。
过去22年,中微公司聚焦世界科技前沿,深耕微观加工领域的高端关键设备;站在先进制程工艺发展的最前沿,绝不抄袭和复制国外的标配设备,坚持“技术的创新、产品的差异化和知识产权保护”的基本原则。
中微公司保持高强度研发投入,一年就同步推进六大类、二十余款新设备的开发;2025年研发投入约37.4亿元,占全年营业收入比重达30.2%,大幅高于科创板上市公司平均水平。未来三至五年,公司计划累计投入约130亿元研发资金,开发上百种新的高端设备。
同时,中微公司的平台化战略通过“外延拓展”取得关键突破。近期,中微公司发行股份及支付现金购买杭州众硅电子科技有限公司64.69%股权并募集配套资金项目圆满收官,成为科创板首单适用并购重组简易审核程序的案例。
杭州众硅电子科技有限公司是国内少数掌握12英寸高端化学机械抛光(CMP)设备核心技术并实现量产的企业。其CMP设备与中微公司现有的刻蚀、薄膜沉积等干法设备形成明确互补,标志着中微公司向平台化、集团化又迈出了关键一步。
中微公司参与设立的智微资本一期基金自2025年9月启动投资以来,已基本完成投资任务。智微资本二期基金已筹备就绪,蓄势启航。
未来,中微公司将践行“五个十大”的企业文化,深入推进三维立体生长战略,持续提升综合竞争力,在技术进步、业务发展、业绩增长、规范治理等方面不断提高水平,实现高速、稳定、健康和安全的高质量发展,在规模和竞争力上成为国际第一梯队的半导体设备公司。