机构分析国内半导体设备投资核心逻辑：

　　1、国内晶圆厂扩产确定性：国内晶圆厂扩产确定性高于海外，供需缺口支撑扩产刚需：2024年中国晶圆厂产能仅占全球22%且以成熟制程为主，先进逻辑、先进存储产能占比极低，但下游消费电子、汽车等需求占比超30%，在自主可控导向下，国内晶圆厂中长期需将产能占比提升至40%-50%以获取全球竞争力，即便AI需求增速放缓，扩产确定性仍较强。

　　2、国产化率提升空间：国内存储厂商市占率仍处于低位，2024年两存市占率仅约5%，2025年提升3个百分点至8%，目标占比达50%左右，后续份额提升与扩产空间充足，国产替代红利确定性较强。

　　3、设备通胀驱动因素：半导体设备通胀逻辑明确，将抬升赛道成长空间：一是制程迭代直接拉动单位产能设备投资额提升，逻辑赛道当前扩产主流7纳米产线每万片投资额是28纳米产线的3倍，后续向3纳米、5纳米制程迭代过程中投资额将持续上涨；存储赛道当前制程下产线每万片投资额也已超10亿美元，国内扩产因光刻等环节限制，投资额较海外更高。二是新工艺迭代催生高附加值设备需求，3D NAND生产中高深宽比刻蚀设备成为必备工序，400层以上产品需刻出120:1的通孔，高难度设备溢价较高；逻辑制程从FinFET迭代至GAA结构后，需用到高选择比刻蚀完成锗硅牺牲层横向刻蚀，叠加高选择比刻蚀、ALD等设备需求增长，将推动设备商价格与盈利性持续上行。当前全球总扩产与设备通胀逻辑下，海外设备商业绩已验证半导体设备高景气度。

　　截至2026年8月6日 10:26，上证科创板半导体材料设备主题指数(950125)强势上涨2.06%，成分股中巨芯上涨14.09%，欧莱新材上涨11.51%，有研硅上涨10.43%，神工股份，富创精密等个股跟涨。科创半导体设备ETF鹏华(589020)上涨2.21%， 冲击3连涨。最新价报2.36元。

　　科创半导体设备ETF鹏华紧密跟踪上证科创板半导体材料设备主题指数，上证科创板半导体材料设备主题指数选取科创板内业务涉及半导体材料和半导体设备等领域的上市公司证券作为指数样本，以反映科创板半导体材料和设备上市公司证券的整体表现。

　　数据显示，截至2026年7月31日，上证科创板半导体材料设备主题指数(950125)前十大权重股分别为华海清科、中微公司、中科飞测、拓荆科技、华峰测控、芯源微、安集科技、中船特气、盛美上海、沪硅产业，前十大权重股合计占比76.71%。