截至8月6日收盘，光刻机概念上涨2.49%，位居概念板块涨幅第9，板块内，37股上涨，泰晶科技、沃格光电等涨停，芯碁微装、华特气体、洪田股份等涨幅居前，分别上涨8.76%、8.71%、8.30%。跌幅居前的有捷众科技、电科数字、海立股份等，分别下跌5.48%、1.94%、1.87%。

　　今日涨跌幅居前的概念板块

　　资金面上看，今日光刻机概念板块获主力资金净流入16.83亿元，其中，27股获主力资金净流入，5股主力资金净流入超亿元，净流入资金居首的是江丰电子，今日主力资金净流入3.90亿元，净流入资金居前的还有芯碁微装、泰晶科技、华特气体等，主力资金分别净流入2.83亿元、2.45亿元、1.83亿元。

　　资金流入比率方面，泰晶科技、华特气体、芯碁微装等流入比率居前，主力资金净流入率分别为11.50%、10.08%、9.97%。（数据宝）

　　光刻机概念资金流入榜