截至8月18日收盘，上证科创板半导体材料设备主题指数强势上涨2.43%，成分股艾森股份上涨12.53%，华海诚科上涨8.45%，天岳先进上涨6.96%，晶升股份，芯源微等个股跟涨。科创半导体ETF（588170）因光刻机今日盘中强势反弹，上涨2.83%，最新价报1.13元，今日盘中买盘活跃。

　　值得注意的是，科创半导体ETF（588170）尾盘持续溢价，截至收盘，溢价上浮到47bp，可见资金对硬科技核心——半导体设备、材料等方面的关注。

　　消息方面，近日，位于杭州城西科创大走廊的浙江大学成果转化基地传出喜讯：作为基地首批签约孵化项目之一，全国首台国产商业电子束光刻机“羲之”已进入应用测试，其精度比肩国际主流设备，标志着量子芯片研发从此有了“中国刻刀”。

　　公开信息显示，科创半导体ETF（588170）跟踪上证科创板半导体材料设备主题指数，囊括科创板中半导体设备（59%）和半导体材料（25%）细分领域的硬科技公司。半导体设备和材料行业是重要的国产替代领域，具备国产化率较低、国产替代天花板较高属性，受益于人工智能革命下的半导体需求扩张、科技重组并购浪潮、光刻机技术进展。