半导体机械手，也叫半导体晶圆传输机器人（Semiconductor Wafer Transfer Robots），主要适应于集成电路、芯片制造等半导体前段工序，用来搬送晶圆。
机械手通常应用在磨削、抛光、刻蚀、扩散、沉积、装配、包装和测试等的半导体加工步骤中，用于对半导体晶片进行传输与定位，是半导体生产领域中不可缺少的重要设备之一。
目前，由于国内该行业起步晚、专业人才培养断档等原因，国内半导体机械手市场被外国厂家牢牢占据。
作为国内少数自主研发设计并生产半导体机械手的公司之一，中科芯微智能装备（沈阳）有限公司，以其自主研发设计生产的大气系列、真空系列半导体机械手臂逐步打破目前国内半导体机械手自主研发“卡脖子”僵局。
“说白了一切都是看这个产品，把产品做好。”中科芯微智能装备（沈阳）有限公司副总经理荆晓南说。
问：请简要介绍一下中科芯微智能装备（沈阳）有限公司的创立背景和发展历程。
答：我们现在所在的这个中科芯微智能装备（沈阳）有限公司是素珀电子科技（上海）有限公司的全资子公司。中科芯微智能装备（沈阳）有限公司成立于2020年，素珀电子科技（上海）有限公司成立于2013年。
上海母公司是做机械手维修的，维修了能有个5-6年吧，积攒了一些底层的技术。然后我们整个的技术积累到达了一定水平之后，我们判断是时候做新品了，于是18年开始做控制器相关。因为这个新品的关键技术，最重要的就是控制器的部分，相当于机器人的大脑。如果控制器研发成功，说明我们的新品业务可以做。在19年20年左右，就是通过1-2年的研发，验证了控制器可行，这个研发跑行成功。于是我们在沈阳选址建立了这个新品的子公司，现在我们所处的沈阳公司做的都是新品业务。
我们在2020年的6月2号注册成立中科芯微智能装备（沈阳）有限公司。2021年开始陆陆续续有订单，也就对应说我们可以投产，小批量交付，到现在应该是4年半的时间，公司的订单规模在逐步扩大。
问：那当初为什么会选择将公司落址沈阳呢？
答：首先，沈阳本身有人才优势。我们做的半导体行业内机械手臂，还是属于机器人范畴。沈阳有像沈阳自动化研究所以及相应的这个各大科研院校，包括现在半导体行业在沈阳有一个聚集，相应地做这个行业相关的技术人才是十分丰富的。
另外一个原因就是对于刚起步的企业来说，资金也有限，那时候也没被资本看好。沈阳不管是人员的成本、场地的费用都相对较低，然后这个硬件软件、各方面的条件相应的投入成本，对于企业来说好接受。
第三，就是主观了。因为我们公司的董事长朱玉东虽然人在上海打拼，但他本身就是沈阳人。所以他就是有这个回到家乡、建设家乡的一种情怀。
问：中科芯微智能装备（沈阳）有限公司在国产半导体设备产业链中的核心定位是什么？
答：我们做洁净机械手臂，这个设备卖给设备厂商，设备厂商再把我们的机械手臂集成到它的晶圆、芯片的这个工艺制成的关键设备里，他把这个设备再卖给制作晶圆的生产工厂。
在这个赛道上，国内能做这个相关产品的企业有，但不多。再说深入一些，如果能把这个全系列的产品做全的，更是少之又少。因为这个晶圆搬运机械手臂分两大类，一个是大气类产品，一个是真空类产品。
大气类产品在国内市场，有一些企业是能对应做的，因为它相对门槛低一些。但是能做真空系列这个产品的话就少之又少。现在国内能做的很好的、送到最终的发布厂使用的厂商，就两家，我们是其中一家。
问：公司目前发展方向？
答：现在我们有很多很多的想法。在产品上，我们公司要对标布鲁克斯自动化公司（Brooks Automation），做一些要超越这个美国行业龙头的、“卡脖子”的高级产品。然后召集相应的研发机械手臂更有权威力的团队加入到我们。
在生产上，按部就班的把政府代建的103亩地未来新厂区优化好、使用好。把效率再提高起来，建一个自动化或者是半自动化一个生产线，来对应未来的量产。
问：公司的核心管理团队和专业设计研发团队的构成情况如何？
答：公司共有321名员工，核心管理团队成员40余人。截止到目前，公司纯研发人员共有70-80人，以研发人员为班底，核心人员大部分由研发人员组成。
除了纯研发人员外，公司还有生产技术岗，实际上我们技术相关的人员，能占公司的员工一半以上。
问：公司目前共有多少项技术专利？公司如何确保半导体制造核心装备的自主研发与产业化相关技术的独家性？
答：目前公司专利申请共102件，其中已下证43件。
在申报专利的时候要查重，这是最基础的。假如我想申报，我先查一下，有没有人申报过。其次这项技术研发出来了，怎么去给它保护住。因为这是企业发展的核心的东西，可能别人家也在同步研发，那就看谁快。如果我们要抢占先机，先出来几个月，我们肯定想先给他实行专利，保护住。我们有创新点，这个创新点是别人家没有的，再加上结合这之前的老的技术积累，再去申报所谓的独家。
问：公司如何确保专利技术创新的持续性和优势性？
答：我们现在的研发持续性，主要依靠一是仿照国外的设备研发路径。第二个是根据我们的用户特点来。最主要的还是客户提出来实实在在的要求。客户有这个需求，然后如果要提升的话，我们也能真正得到实惠，拿到真正的订单，那自然就有这个动力去提升。另外一个就是本身对产品要有一个规划的路径，把相关技术怎么用在这款产品里，实现它的质的飞跃、功能提升、成本的降低。这些都是我们相应要思考的问题。
问：目前公司生产的产品种类有多少？新品的研究是怎样的一个生产流程？
答：目前公司生产的产品共有42种。我们大部分的新品推出都是结合订单来的，就是有需求，然后相应的、有目的性的进行研发设计。
研究新品首先研发立项。相应地把所有指标都列清楚，我们最终的产品要达到一个什么样功能和水平。然后去把整个的方案定义出来，然后上会讨论。经过N 多轮商讨，对设计方案进行最后的评审，把主体研究方案定义好、定义清楚。
其中可能有一些能借鉴原先产品的就借鉴。涉及到以前没用过项目相关的结构的，就先小批量投料，然后装配好，进行测试。经过几轮测试OK的话就再往下推进，不行的话，推倒重来，再出新的方案，周而复始，一步一步的把相应的结构固定下来，最后形成样机。
一般也要结合客户需求，生产出来的产品才有意义，能迎合客户的痛点需求，并且还能适配应用场景。整个的推进都是有意义且顺畅的。
问：这些由中科芯微生产出的洁净机械手臂的销售方式以及销售方向有哪些？
答：以订单式生产为主，就是客户有需求了，我这时候相应的投产。
产品应用方向是在软件、半导体上。实际主要就面对半导体相关的市场。以后如果做大了，我们可以同步往其他的行业里去降维打击。
问：今年中科芯微半导体机器人研发生产基地项目开工建设，在项目竣工投产后，基地对产能提升将会有哪些具体贡献？
答：现在是刚刚和政府谈把地拿下来了，政府以代建的形式，替我们建设。等建好了，我们进行整个厂房的规划来释放我们的产能，现在这个厂区是不够用的。我们分三期建设，第一期先用到1/3的面积有40亩地。如果这个投产的话，是我们现在整个产能的至少是2-3倍。
问：在您看来，目前半导体机械手臂的自主研发与产业化的行业发展趋势是怎样的？
答：半导体机械手臂属于是半导体设备中的核心零部件，我们属于核心零部件类的企业。这个行业里目前来说，真空机械手是美国一家独大，大气机械手是日系的产品。国内的话，目前来说市场占比都不高。大气的由于门槛低一些，国内的制造厂家也挺多。
问：目前相关行业主要竞争对手有哪些？和竞争对手相比，我们中科芯微的特色和优势在何处？
答：确实存在很多竞争对手。我们的产品在推出的速度上和产品的稳定性上，精度高、速度快、稳定性好，而谁家的产品能覆盖客户所有需求，也是竞争优势之一。现在国内我们要做到前列，为什么要做到前列呢？我们现在有这个能力，也有这个信心。
问：方便透露下现阶段公司营收情况吗？就目前的营收情况来说，未来公司是否会继续扩大融资？将会采取哪些融资策略来支持其业务发展？
答：2024年沈阳业务产值1.2亿，2025年正在往1.8亿冲击。
现在这个产品研发投入比较大，所以目前还是再加大研发投入。但是未来是不是到一个关键的平衡点，我们扭亏为盈，实现了盈利这种状态。看一看这个时间什么时候到来。在这之前，我们还是加大研发的投入。有可能的话，我们也在加大整个的融资力度。
所谓的策略，现在第一轮较难，我们也是咬咬牙。天使轮融完了之后，二 、三、四轮都非常顺畅，资本方他认可。现在我们也有相对应的目标，融资有相关经验了。未来对公司发展帮助巨大的产业投资方，还有大的上市公司，我们肯定欢迎。另外就是国投这一类的大基金，他们本身也专注在半导体行业里，也能给我们带来一些市场需要的资源。
问：在融资后，公司的主要需求与任务是什么？
答：加大研发投入，就把产品做好。说白了一切都是看产品，把产品做好。一定要把产品提升。当所有的相关型号，都能和相关的国外公司有一决高下的力量的时候，公司实际上不上市都难。
问：公司未来是否会进行上市？能否介绍一下未来公司的上市规划？
答：24年开始做数据，看看27年能不能申报上市。
问：请问您对业内对“国产设备可靠性”的质疑持怎样的看法？公司在研发生产中将怎样解决业内这一质疑？
答：就是说白了我们公司新品业务成立了4、5年，那我这第一台设备也就使用4、5年。假如客户问，你这个稳定性如何？我还是得按照设备的整体表现实事求是地回答。
当然，也还有其他的一些方式，就是所谓的稳定性测试。它在整个的真刀真枪的现场进行实战测试。我们的产品并不是发出去就完事儿了，发到终端现场，对运行状态都予以记录。每个现场每个器材现在跑了多少，在整个运行过程中反馈出来什么问题都有相应的、对应的记录。
问：您在半导体领域工作了也有将近15年，那您走到今天的感受是如何呢？
答：我感觉还挺荣幸的，就是人逢其时嘛，相当于正好就赶上了窗口期。国家也是在这方面遇见困难，自己所学的专业还有对应的应用领域，还能做一些事情，是比较荣幸的。本身也给自己的整个事业发展带来一些机遇，证明我们这些团队确实也能给国家创造一些价值，肩负一些责任。
