截至13:38，上证科创板半导体材料设备主题指数强势上涨2.22%，成分股天岳先进涨停，和林微纳上涨4.30%，耐科装备上涨3.94%，华兴源创，中巨芯等个股跟涨。科创半导体ETF（588170）上涨2.30%，最新价报1.16元。

　　消息面上，近期，杭州慕德微纳的碳化硅光波导技术又实现了新的突破：他们在《eLight》期刊上发布论文，公开了第二代碳化硅光波导的最新技术。

　　公开信息显示，科创半导体 ETF（588170）及其联接基金（A类：024417；C类：024418）跟踪上证科创板半导体材料设备主题指数，囊括科创板中半导体设备（59%）和半导体材料（25%）细分领域的硬科技公司。 半导体设备和材料行业是重要的国产替代领域，具备国产化率较低、 国产替代天花板较高属性，受益于人工智能革命下的半导体需求扩张、科技重组并购浪潮、 光刻机技术进展。