截至2025年9月9日 10:41，上证科创板半导体材料设备主题指数(950125)下跌2.29%。成分股方面，中芯国际(688981)领跌8.09%，晶升股份(688478)下跌5.70%，京仪装备(688652)下跌4.78%，天岳先进(688234)下跌3.40%，芯源微(688037)下跌3.20%。科创半导体ETF(588170)下跌2.11%，最新报价1.16元。拉长时间看，截至2025年9月8日，科创半导体ETF近1月累计上涨12.30%，涨幅排名可比基金1/3。

　　流动性方面，科创半导体ETF盘中换手5.7%，成交3154.60万元。拉长时间看，截至9月8日，科创半导体ETF近1月日均成交1.08亿元，居可比基金第一。

　　规模方面，科创半导体ETF最新规模达5.65亿元，创成立以来新高，位居可比基金1/3。

　　份额方面，科创半导体ETF最新份额达4.75亿份，创近3月新高，位居可比基金1/3。

　　从资金净流入方面来看，科创半导体ETF近7天获得连续资金净流入，最高单日获得4155.78万元净流入，合计“吸金”1.21亿元，日均净流入达1729.13万元。

　　从收益能力看，截至2025年9月8日，科创半导体ETF自成立以来，最高单月回报为15.29%，最长连涨月数为3个月，最长连涨涨幅为28.57%，涨跌月数比为3/2，上涨月份平均收益率为8.85%，月盈利百分比为60.00%，月盈利概率为64.89%，历史持有3个月盈利概率为100.00%。

　　回撤方面，截至2025年9月8日，科创半导体ETF成立以来相对基准回撤0.21%。

　　费率方面，科创半导体ETF管理费率为0.50%，托管费率为0.10%，费率在可比基金中最低。

　　跟踪精度方面，截至2025年9月8日，科创半导体ETF近1月跟踪误差为0.006%，在可比基金中跟踪精度最高。

　　科创半导体ETF紧密跟踪上证科创板半导体材料设备主题指数，上证科创板半导体材料设备主题指数选取科创板内业务涉及半导体材料和半导体设备等领域的上市公司证券作为指数样本，以反映科创板半导体材料和设备上市公司证券的整体表现。

　　数据显示，截至2025年8月29日，上证科创板半导体材料设备主题指数(950125)前十大权重股分别为华海清科(688120)、中微公司(688012)、沪硅产业(688126)、拓荆科技(688072)、中科飞测(688361)、安集科技(688019)、芯源微(688037)、华峰测控(688200)、盛美上海(688082)、天岳先进(688234)，前十大权重股合计占比71.5%。

　　科创半导体ETF(588170)，场外联接(华夏上证科创板半导体材料设备主题ETF发起式联接A：024417；华夏上证科创板半导体材料设备主题ETF发起式联接C：024418)。