截至9月29日收盘，上证科创板半导体材料设备主题指数强势上涨2.60%，成分股盛美上海上涨9.99%，京仪装备上涨9.18%，拓荆科技上涨5.52%，中微公司，安集科技等个股跟涨。科创半导体ETF（588170）上涨2.37%，最新价报1.51元。

　　从资金净流入方面来看，科创半导体ETF近8天获得连续资金净流入，最高单日获得6.32亿元净流入，合计“吸金”14.90亿元，日均净流入达1.86亿元。

　　展望10月， 招商证券指出，行业布局主要围绕高景气延续与困境反转的领域展开：高景气延续领域主要集中在AI与人形机器人产业链，在海内外算力投入持续增加的背景下，板块增长势头强劲，三季报业绩有望延续领先增长；重点关注半导体、计算机设备、软件开发、自动化设备、游戏等。

　　相关ETF：公开信息显示， 科创半导体ETF （588170）及其联接基金（A类：024417；C类：024418）跟踪上证科创板半导体材料设备主题指数，囊括科创板中半导体设备 （59%）和半导体材料（25%）细分领域的硬科技公司。 半导体设备和材料行业是重要的国产替代领域，具备国产化率较低、国产替代天花板较高属性，受益于人工智能革命下的半导体需求扩张、科技重组并购浪潮、光刻机技术进展。

　　半导体材料ETF （562590）及其联接基金（A类：020356、C类：020357），指数中半导体设备（59%）、半导体材料（24%）占比靠前，充分聚焦半导体上游。