截至2025年10月20日 11点10分，上证科创板半导体材料设备主题指数强势上涨1.11%，成分股和林微纳上涨2.79%，耐科装备上涨2.72%，拓荆科技上涨2.54%，中巨芯，晶升股份等个股跟涨。科创半导体ETF（588170）上涨1.02%，最新价报1.38元。拉长时间看，截至2025年10月17日，科创半导体ETF近1月累计上涨5.48%。

　　流动性方面，科创半导体ETF盘中换手8.03%，成交2.91亿元。拉长时间看，截至10月17日，科创半导体ETF近1周日均成交8.43亿元，领先同类。规模方面，科创半导体ETF最新规模达35.65亿元，创成立以来新高，领先同类。

　　10月19日，士兰微发布公告称，公司、全资子公司厦门士兰微拟与厦门半导体投资集团有限公司、厦门新翼科技实业有限公司共同向子公司士兰集华增资51亿元，士兰集华为该项目的实施主体。项目规划总投资200亿元，规划产能4.5万片/月，分两期实施，两期建设完成后，将在厦门市海沧区形成年产54万片的生产能力。

　　相关ETF：公开信息显示， 科创半导体ETF （588170）及其联接基金（A类：024417；C类：024418）跟踪上证科创板半导体材料设备主题指数，囊括科创板中半导体设备 （61%）和半导体材料（23%）细分领域的硬科技公司。 半导体设备和材料行业是重要的国产替代领域，具备国产化率较低、国产替代天花板较高属性，受益于人工智能革命下的半导体需求扩张、科技重组并购浪潮、光刻机技术进展。

　　半导体材料ETF （562590）及其联接基金（A类：020356、C类：020357），指数中半导体设备（61%）、半导体材料（21%）占比靠前，充分聚焦半导体上游。