上海优睿谱半导体设备有限公司（简称“优睿谱”）10月23日在官方微信宣布，公司近日发布全新产品系列：暗场无图形晶圆缺陷检测设备 LSRVision，并成功交付国内头部客户。
据介绍，LSRVision系列产品是专用于晶圆表面缺陷检测，如Particle，Scratch，Crack, Slipline, Hex Bump, Epi, Shower Head, Crescent, Pit等多种缺陷，最高可检测60nm尺寸的颗粒；通过适配不同波长的激光器，可广泛应用于碳化硅衬底和外延片表面缺陷检测，氮化镓（GaN）&氧化镓（Ga2O3）衬底和外延片表面缺陷检测，硅、砷化镓（GaAs）&磷化铟（InP）衬底和外延片表面缺陷检测。
与传统线扫&拍照模式的AOI（Auto Optical Inspection）检测技术相比，优睿谱LSR系列设备采用多波长光学系统设计，搭载高速旋转Spindle（每分钟转速＞5000转），并采用多组光电倍增管匹配滤光片进行信号采集。LSR系统实现最多可同时采集八通道（散射、光致发光、反射、形貌及相位信息等）信号，保证高灵敏度的同时也保证了缺陷检测的准确度，并最大程度上保持较高的产率（WPH）。
优睿谱总经理唐德明介绍，LSR设备应用在晶圆检测领域，在光学系统设计、信号采集、系统集成等方面具有很高的技术难度，长期以来该技术一直由国外知名公司掌握。优睿谱根据市场需求，自研推出国产60nm级灵敏度的经典暗场缺陷检测系列产品，希望能够为产业链上下游提供更有性价比的解决方案。
优睿谱成立于2021年，由长期从事半导体行业的海归博士领衔，协同国内资深的半导体前道制程量测设备技术团队共同发起成立，致力于打造高品质的半导体前道量测设备，提供半导体前道光学测量、检测以及电性能测量综合解决方案。
此前，优睿谱已先后推出多款设备并成功导入客户，包括FTIR测量设备、晶圆电阻率量测设备SICV200、SOI晶圆重掺顶层硅厚度测量设备Eos200DSR、碳化硅等化合物半导体以及硅衬底和外延片晶圆的边缘缺陷检测设备SICE200、碳化硅衬底晶圆位错及微管缺陷检测设备SICD200。
