“今年是ASML第七次参加进博会。通过这个促进沟通交流的宝贵平台,我们期待与中国客户、合作伙伴以及行业相关方加强互动。”在第八届中国国际进口博览会(以下简称“进博会”)期间,ASML全球执行副总裁、中国区总裁沈波表示:“AI正驱动全球对不同制程节点芯片的需求不断增长,其中主流芯片在这一增长趋势中发挥着重要作用。依托ASML全景光刻解决方案,我们致力于帮助中国客户把握主流芯片市场机遇。”
作为半导体行业的领先供应商,ASML为芯片制造商提供硬件、软件和服务,以大规模生产集成电路(芯片)。七赴进博,今年ASML以“积纳米之微,成大千世界”为主题,亮相技术装备展区4.1展馆集成电路专区,通过短片形式分享其对AI(人工智能)时代下半导体行业所面临机遇和挑战的全球洞察:AI正在深刻影响社会与生活的方方面面,驱动全球对不同制程节点芯片需求的激增。
这一趋势加速了创新步伐,也带来算力和能源方面的挑战。推动摩尔定律持续演进仍是应对该问题的关键,通过 2D 微缩持续缩小晶体管尺寸、提升晶体管密度与能效,以及借助3D 集成进行堆叠和先进封装,突破平面极限,是行业寻求创新突破的两大核心路线。
围绕本届参展主题,ASML重点展示其面向主流芯片市场的全景光刻解决方案,融合光刻机、计算光刻和电子束量测与检测技术,助力客户在降低能耗与成本的同时实现更高良率。
具体来看,光刻系统持续推动2D微缩,同时赋能先进封装与3D集成;计算光刻突破光学物理极限,智能优化成像;量测与检测是保障芯片质量的关键技术。ASML的全景光刻解决方案还为3D集成的核心键合工艺提供坚实支持,帮助减少晶圆形变所导致的对准误差、保障芯片精准堆叠,并实现更短、更快的互联,以满足客户在新兴应用领域日益增长的需求。
此外,在本届进博会上,ASML现场还展示了全景光刻解决方案下的部分亮点产品和技术,包括TWINSCAN XT:260,这款i-line光刻机是ASML首款可服务于先进封装领域的光刻系统,通过光学系统的创新实现大视场曝光,相较于现有机型可提高4倍生产效率,能够有效提升性能并降低单片晶圆成本;TWINSCAN NXT:870B:在升级的光学器件和最新一代磁悬浮平台的支持下,可实现每小时晶圆产量(wph)400片以上,并为键合后的套刻和阶梯式工艺提供强大的校正能力;钻石涂层技术:在DUV平台中创新性引入钻石涂层,能够有效减少设备磨损,延长使用寿命,降低更换需求与维护成本。
自1988年向中国交付首台步进式光刻机以来,ASML已在中国市场深耕30余年。过去几年,随着全球业务的稳步增长,ASML在中国市场也持续发展。如今,ASML在中国拥有超过2000名员工,在17个城市设有办事处,还有15个仓储物流中心、和1个维修中心,并建立了计算光刻和电子束量测开发中心,为中国客户提供更高效的支持。ASML方面表示,“在合法合规的前提下,我们持续为中国客户提供装机服务、系统运行与维护等支持。”
当前,AI的快速发展与应用带来巨大潜力,推动半导体行业在众多领域向前发展——包括智能设备、电动汽车、工业自动化以及物联网等由AI驱动的应用,都有赖于主流芯片来实现传感、连接、电源管理以及控制等基本功能。
这不仅推升对先进制程芯片技术的需求,主流制程芯片的重要性也会获得极大提升,而中国市场聚焦于主流芯片领域,该领域占据重要的市场份额。ASML方面表示,中国拥有广泛的AI应用场景,从DeepSeek到机器人、具身智能以及AI驱动的电子消费产品等,这些应用进一步推动了对传感器、电源管理、模拟器件等主流芯片市场的增长需求。