中证报中证网讯（记者齐金钊）据上交所上市委公告，深圳市恒运昌真空技术股份有限公司（简称“恒运昌”）将于11月14日首发上会。恒运昌于今年6月13日申报科创板IPO，在此次首发上会前已经接受了中国证券业协会组织的抽签现场检查，并回复了上交所的两轮问询，也是同批经历现场检查后首家上会企业。招股书显示，恒运昌是国内领先的半导体设备核心零部件供应商，主要从事等离子体射频电源系统的研发、生产、销售。其第三代等离子体射频电源系统可支撑7至14纳米制程，达到国际先进水平，填补了国内空白。
产品技术达到国际先进水平填补国内空白
招股书显示，恒运昌是国产等离子体射频电源系统行业龙头，是国内极少数实现半导体级等离子体射频电源系统量产的企业，公司主要从事等离子体射频电源系统、等离子体激发装置、等离子体直流电源、各种配件的研发、生产、销售及技术服务，并引进真空获得和流体控制等相关的核心零部件，围绕等离子体工艺提供核心零部件整体解决方案。
“如果我们把芯片制造比喻成版画艺术品的高科技复刻，那么产生及控制等离子体的等离子体射频电源系统就是这场高科技复刻的‘指挥家’。”恒运昌在招股书中介绍，等离子体射频电源系统通过精确控制电流频率和功率，指挥着半导体制造过程中的等离子体变化，确保在晶圆表面精确、均匀地沉积出薄膜层、精细地刻蚀出复杂图形和去除光刻胶等。等离子体由于具有独特的光、热、电物理特性以及高活性、高能量的特点，为半导体精密制造提供了不可替代的工艺基础。
在产品技术领域，恒运昌表示，公司自主研发的第二代产品Bestda系列等离子体射频电源系统可支撑28纳米制程，第三代产品Aspen系列等离子体射频电源系统可支撑7至14纳米制程，达到国际先进水平，填补国内空白。
如今，恒运昌的产品已实现量产交付拓荆科技、中微公司、北方华创、微导纳米、盛美上海等国内头部半导体设备商，并配套中芯国际及其他国内晶圆厂，在国内半导体领域系首家出货过亿元和首家实现等离子体射频电源系统（支持半导体先进制程）量产的国产厂商。
国内市场地位领先与海外巨头同台竞争
在市场地位方面，恒运昌打破了多年来海外巨头在国内等离子体射频电源系统领域的垄断格局，能与海外巨头同台竞争，并不断扩大市场占有率。
根据弗若斯特沙利文统计，2024年中国大陆半导体行业等离子体射频电源系统的市场规模为65.6亿元。中国大陆半导体行业等离子体射频电源系统的市场仍呈现海外巨头MKS和AE高度垄断的竞争格局。
据招股书介绍，恒运昌半导体级等离子体射频电源系统于2018年开始研发、2020年下半年开始批量交付，报告期内已实现大规模收入，产品性能获得市场认可。根据弗若斯特沙利文统计，2024年在中国大陆半导体行业国产等离子体射频电源系统厂商中，恒运昌的市场份额位列第一，市场地位领先。
恒运昌表示，经过十多年的持续研发、不断创新和积累，公司以技术发展、行业需求为导向，围绕等离子体射频电源系统更快速、更精准、更稳定的应用要求和技术难点，构建了完善的技术体系，从测量、控制到架构形成了3大基石技术及8大产品化支撑技术，涵盖信号采样及处理、相位锁定、同步控制、快速调频、脉冲控制等等离子体射频电源系统运行中的关键技术。公司核心技术已建立完善的保护体系，核心技术已对应形成共计97项已授权发明专利，均为自主研发。
