本报讯 11月14日，据上海证券交易所（以下简称“上交所”）网站发布2025年第54次审议会议结果公告，深圳市恒运昌真空技术股份有限公司（以下简称“恒运昌”）科创板IPO申请已获上交所上市审核委员审核通过。

　　科创板政策赋能

　　半导体硬科技企业成IPO核心力量

　　自今年7月起，上交所科创板对硬科技企业，特别是半导体产业链中填补国内空白的企业，审核明显提速，多家半导体产业链企业在短时间内顺利审核过会——GUP企业摩尔线程智能科技（北京）股份有限公司从受理至注册仅历时四个月；GPU企业沐曦集成电路（上海）股份有限公司在2025年10月24日科创板IPO过会后，于11月13日获得注册发行批文；经过现场检查的MEMS探针卡半导体企业强一半导体（苏州）股份有限公司于11月12日顺利过会。而恒运昌同样在通过现场检查后，于11月14日顺利过会。

　　恒运昌招股书显示，公司作为围绕等离子体工艺提供核心零部件整体解决方案的平台型公司，其自主研发的第二代产品Bestda系列可支撑28纳米制程，第三代产品Aspen系列可支撑7-14纳米先进制程，达到国际先进水平。公司2022-2024年扣非后归母净利润从1961.17万元增至1.29亿元。2022-2025年6月，公司研发投入累计达1.57亿元，承接了3项国家级重大专项课题。

　　恒运昌作为国产替代标杆企业，其成功过会不仅体现了科创板对硬科技企业的强力支持，同时，随着科创板“服务新质生产力”的制度优化，可进一步通过资本市场的资源配置功能，加速国产半导体产业链的自主可控进程。

　　恒运昌IPO募投蓝图

　　构建半导体核心部件全链竞争优势

　　本次IPO恒运昌募集资金主要用于沈阳半导体射频电源系统产业化建设项目、半导体与真空装备核心零部件智能化生产运营基地项目、研发与前沿技术创新中心项目、营销及技术支持中心项目以及补充流动资金。

　　据悉，沈阳半导体射频电源系统产业化建设项目是恒运昌产能扩张的重要组成部分，项目以公司现有产品和技术为依托，在沈阳设立子公司并作为北方根据地，主要开展半导体级等离子体射频电源系统产品的生产和销售，统筹区域内优势资源，健全总部与子公司之间的分工合作机制。项目建设完成后，将进一步提升半导体级等离子体射频电源系统的生产能力，扩展公司在北方地区的业务服务范围，增加北方地区的客户覆盖深度。

　　更具战略意义的是半导体与真空装备核心零部件智能化生产运营基地项目，项目将购置智能化软件、硬件设备，建设自动化立体仓库，配套建设智能化的供应链管理体系，以提升公司等离子体射频电源系统、等离子体直流电源、等离子体激发装置等产品的生产规模和生产效率。同时，项目将建设信息化业务管理平台，旨在实现公司生产自动化和业务管理信息化、数字化。本项目建成后，将能够提升公司相关产品的生产服务能力，以及在业务规划、经营决策等方面整体提升公司的信息化管理能力。这一智能化生产基地将采用先进的生产工艺和自动化设备，大幅提升生产效率和产品一致性。

　　研发与前沿技术创新中心项目是恒运昌保持技术领先的关键布局。作为技术密集型企业，恒运昌持续保持较高的研发投入。创新中心将致力于前瞻技术研究，包括信号采样、相位锁定等八大核心技术。公司已开始研发新一代等离子体射频电源系统Cedar系列，该系列将射频电源和匹配器整合为一体化平台，可支撑5纳米及以下先进制程，预计于2025年四季度推出样机。

　　营销及技术支持中心项目通过在长三角、珠三角、京津冀、中西部等关键区域建立营销及技术支持中心，能够直接与终端晶圆厂沟通并获取实时技术反馈，为客户提供更加精准和定制化的技术服务，并且能够直接参与到与终端晶圆厂的合作，第一时间获悉先进制程对核心零部件的最新技术要求，从而提升整体的生产效率和产品的市场适应性，进一步提升品牌影响力，从而巩固并扩大市场份额。

　　资料显示，恒运昌的产能利用率连续三年超过100%，分别达到121.34%、102.12%和111.24%。恒运昌方面表示，募投项目围绕产能扩张、技术升级和市场拓展三大维度全面展开。随着半导体产业链国产化替代加速，这些项目的实施将帮助公司突破产能瓶颈，提升技术水平，进一步巩固其在半导体核心零部件领域的领先地位。