21世纪经济报道记者邓浩

　　以传统优势的氟化工为基础，延伸出的集成电路产业已是衢州重点布局的领域。

　　目前衢州已形成了以硅片、湿电子化学品、电子特种气体为主的产业集群，并在上游材料设备、下游器件模组应用等产业环节均有布局。

　　稀散金属龙头先导科技集团是化合物半导体衬底产品的核心供应商，近年来频繁在衢州建设产能，衢州本地丰富的上下游资源和营商环境成为其考量的重要因素。

（图片来源：记者摄于衢州现场）

　　满足国产化需求

　　记者获悉，先导科技集团率先在衢州布局的是先导微电子项目，总投资110亿元，占地1038亩。

　　其中，一期投资90亿元，占地838亩。达产后预计年产值200亿元，税收6亿元。主要建设集成电路关键材料基地、高端化合物半导体及器件模组基地。

　　据了解，集成电路的上游晶圆制造材料市场规模在450亿美元左右，其中除了最大部分约占30%的硅片以外，电子特气占比相对较高，约为14%。浙江先导微电子集成电路关键材料基地主要专注在电子特气、前驱体和分子束外延高纯金属材料，当前市场规模在500亿元以上。

　　据中商产业研究院，电子特气作为特种气体最重要的一部分，在电子产品制程，特别是半导体制造过程中，广泛应用于气相沉积、刻蚀或清洗、离子注入或掺杂、光刻图形化等工艺，被称为集成电路、显示面板、LED及光伏等泛半导体制造产业的“血液”。

　　前驱体是指在半导体材料制备过程中，用于形成半导体材料的有机或无机化合物。它们在半导体材料的合成中起到至关重要的作用，如提供半导体材料所需的元素、调节材料结构等，半导体应用中主要有硅基前驱体和金属前驱体，按化学属性又可分为有机和无机前驱体等。

　　据QYResearch，前驱体是具有极高的纯度和特定的物理化学特性，能在特定工艺条件下，通过化学反应在半导体表面形成所需的薄膜或实现特定的电学性能。

　　先导微电子基地负责人徐成对记者表示，“我们瞄准的是国产替代的产品，特别是国产替代还不充分的一些产品，比如硅基沉积的乙硅烷，离子注入磷烷、砷烷、四氟化锗，ALD 或CVD掺杂乙硼烷等，在高端应用中还是以国外供应商为主；另外，高端金属前驱体也基本是美国、日韩等国供应商为主，国产化有相当大的空间和想象力。”

　　在徐成看来，先导科技集团是本土企业，首先，可以更好地理解和响应客户需求；其次，先导科技集团在全产业链布局，有足够的经验和技术，可以攻克产品的安全、品质和稳定供应问题， 也可以协助本土头部客户协作开发新工艺、新产品和新应用；最后，相对于进口供应商，先导科技集团的完整解决方案可为其合作的客户提供更优的成本和更个性化的服务。

　　产能建设不断

　　事实上，除了先导微电子外，先导科技集团在衢州还布局了2个近百亿元的项目。

　　其中，先导医疗项目总投资 120亿元，一期投资70亿元，占地393亩。达产后预计年产值 90 亿元，税收5亿元。主要产品是高端医疗核心探测器如核磁共振(MRI)等高端设备，致力于打破高端医疗影像长期依赖进口的局面。

　　先导智能传感器项目总投资95亿元，占地340亩。达产后预计年产值 192亿元，税收9亿元。主要产品包括惯性传感器、光学传感器、超声传感器等，助力衢州集成电路特色工艺产业快速发展。

　　先导科技集团对于为何对衢州情有独钟、频频落子？

　　徐成解释称，“首先是企业上下游配套，比如巨化集团，是我们很多原料的供应商。下游像海纳、金瑞泓都是我们重要的客户。往外辐射到浙江，比如杭州立昂微、宁波舜宇、丽水中欣晶圆也是我们的客户，再辐射到长三角和珠三角，比如中芯国际、长鑫存储，因此，有非常好的区位优势。”

　　此外，衢州本地营商环境也是一大吸引因素。“我们来到衢州落地之后，有了更深切的感受。比如很多的事项，我们只跑一次，甚至一次都不用跑。在基地建设过程中遇到困难，相关部门会主动帮扶，甚至会组织专家对口帮助我们解决问题。”徐成称。

　　徐成透露，衢州基地，去年刚落地，属于建设期，今年前三季度已完成产值21亿元，今年全年营收或超40亿元，目前员工400人左右，随着后续陆续投产，用工人数还会上升。