截至2026年4月10日 09:33，中证半导体材料设备主题指数(931743)强势上涨1.84%，成分股联动科技上涨9.04%，中船特气上涨6.47%，芯源微上涨3.82%，上海新阳，晶升股份等个股跟涨。半导体设备ETF万家(159327)高开高走上涨1.73%，冲击5连涨。拉长时间看，截至2026年4月9日，半导体设备ETF万家近1周累计上涨8.92%。
近期，半导体、信息技术、装备制造等领域并购活跃，补链强链、技术协同已成为主流，并购重组市场活力持续释放。随着并购重组“绿色通道”机制常态化实施，以及国家级并购基金酝酿推出，并购重组活跃度有望延续。
海外方面，三星电子公司计划投资40亿美元，在越南北部建设一家芯片封装工厂。这项投资将分阶段实施，第一阶段将投入20亿美元。高盛资产管理公司表示，即便美伊冲突加剧了地缘政治紧张局势，但随着相关支出加速，投资者仍需布局半导体公司及AI领域其他的“铲与镐”(picks and shovels)股。
近期，全球晶圆厂资本开支持续增长，国内先进逻辑及存储产线扩产有望提速，设备国产化率正迎来从1到N的提升阶段。招商证券指出，2026年全球半导体设备市场景气度持续上行，SEMI已上调2025年全球晶圆制造设备销售额预测至1157亿美元，并对2026–2027年保持乐观，核心驱动力来自DRAM与HBM投资超预期及中国市场的持续扩产；25Q3中国大陆半导体设备市场销售额达145.6亿美元，同环比均实现显著增长。与此同时，美国相关法案拟限制向中国销售DUV光刻机及低温刻蚀设备，进一步强化供应链自主可控的紧迫性。
数据显示，截至2026年3月31日，中证半导体材料设备主题指数(931743)前十大权重股分别为中微公司、北方华创、拓荆科技、长川科技、华海清科、沪硅产业、中科飞测、南大光电、安集科技、江丰电子，前十大权重股合计占比65.14%。
规模方面，截至2026年4月9日，半导体设备ETF万家最新规模达11.11亿元，创近1月新高。份额方面，半导体设备ETF万家最新份额达5.33亿份，创近1月新高。从资金净流入方面来看，半导体设备ETF万家近5天获得连续资金净流入，最高单日获得4488.20万元净流入，合计“吸金”8828.28万元。数据显示，杠杆资金持续布局中。半导体设备ETF万家连续3天获杠杆资金净买入，最高单日获得301.53万元净买入，最新融资余额达1067.21万元。
费率方面，半导体设备ETF万家管理费率为0.50%，托管费率为0.10%，费率在可比基金中最低。
万家中证半导体材料设备主题ETF(场内简称半导体设备ETF万家，159327)紧密跟踪中证半导体材料设备主题指数，具有高成长、高弹性的特征。场外投资者可通过万家中证半导体材料设备主题ETF发起式联接(A：023828；C：023829)把握投资机会。
