半导体设备持续走强，机构指出，国内两存扩产超预期、先进制程扩产超预期的概率大。第一重逻辑；存储大涨价，全球大缺货，国内两存抓住窗口期积极扩产抢占市场，推动国产化率快速提升。第二重逻辑：先进制程必将大扩产，解决国产AI最卡脖子环节及众多高端应用芯片制造瓶颈。第三重逻辑：国内两存、逻辑晶圆厂做大做强。两存将有望复制面板成长逻辑成为全球领先企业，逻辑晶圆厂体量持续壮大。三大下游拐点：国产线良率改善拐点+明年有望迎来大扩产拐点。设备今年订单低点，明后年有望持续向上。

　　截至2026年4月14日 13:32，上证科创板半导体材料设备主题指数(950125)强势上涨2.76%，成分股富创精密上涨10.18%，京仪装备上涨6.93%，中科飞测上涨6.38%，金宏气体，华峰测控等个股跟涨。科创半导体设备ETF鹏华(589020)上涨2.70%，最新价报1.41元。

　　科创半导体设备ETF鹏华紧密跟踪上证科创板半导体材料设备主题指数，上证科创板半导体材料设备主题指数选取科创板内业务涉及半导体材料和半导体设备等领域的上市公司证券作为指数样本，以反映科创板半导体材料和设备上市公司证券的整体表现。

　　数据显示，截至2026年3月31日，上证科创板半导体材料设备主题指数(950125)前十大权重股分别为拓荆科技、华海清科、中微公司、中科飞测、安集科技、沪硅产业、芯源微、华峰测控、天岳先进、富创精密，前十大权重股合计占比74.31%。