截至4月17日收盘，光刻机概念上涨2.89%，位居概念板块涨幅第4，板块内，41股上涨，沃格光电、中瓷电子、泰晶科技等涨停，茂莱光学、富乐德、广立微等涨幅居前，分别上涨16.33%、7.61%、7.38%。跌幅居前的有华特气体、炬光科技、电科数字等，分别下跌3.39%、1.79%、0.82%。

　　今日涨跌幅居前的概念板块

　　资金面上看，今日光刻机概念板块获主力资金净流入26.90亿元，其中，36股获主力资金净流入，10股主力资金净流入超亿元，净流入资金居首的是赛微电子，今日主力资金净流入5.63亿元，净流入资金居前的还有晶方科技、沃格光电、珂玛科技等，主力资金分别净流入2.79亿元、2.78亿元、2.72亿元。

　　资金流入比率方面，沃格光电、珂玛科技、晶方科技等流入比率居前，主力资金净流入率分别为24.59%、14.20%、14.18%。

　　光刻机概念资金流入榜