截至4月21日收盘，光刻机概念上涨1.66%，位居概念板块涨幅第2，板块内，33股上涨，华特气体20%涨停，泰晶科技涨停，腾景科技、久日新材、芯碁微装等涨幅居前，分别上涨6.92%、4.99%、4.90%。跌幅居前的有同飞股份、电科数字、旭光电子等，分别下跌4.39%、2.30%、2.11%。

　　今日涨跌幅居前的概念板块

　　资金面上看，今日光刻机概念板块获主力资金净流入6.05亿元，其中，23股获主力资金净流入，5股主力资金净流入超亿元，净流入资金居首的是腾景科技，今日主力资金净流入2.83亿元，净流入资金居前的还有大族激光、泰晶科技、华特气体等，主力资金分别净流入2.07亿元、1.96亿元、1.50亿元。

　　资金流入比率方面，富乐德、泰晶科技、华特气体等流入比率居前，主力资金净流入率分别为12.23%、12.22%、9.48%。（数据宝）

　　光刻机概念资金流入榜