4月27日，中微公司(688012)公布2026年一季报，公司营业收入为29.1亿元，同比上升34.1%；归母净利润为9.3亿元，同比上升197.2%；扣非归母净利润为4.78亿元，同比上升60.1%；经营现金流净额为-1.59亿元，同比下降142.1%；EPS(全面摊薄)为1.4861元。

　　截至一季度末，公司总资产312.7亿元，较上年度末增长4.8%；归母净资产为243.09亿元，较上年度末增长7.1%。

　　公司在2026年第一季度的报告中显示，公司针对先进逻辑和存储器件制造中关键刻蚀工艺的高端产品新增付运量显著提升。在先进存储器件制造工艺中，公司完全自主开发的针对超高深宽比刻蚀工艺的刻蚀机已有300多台反应器实现了稳定可靠的大规模量产。

　　此外，CCP方面，用于关键刻蚀工艺的介质刻蚀产品持续保持高速增长，下一代90:1超高深宽比低温刻蚀设备已运付客户端进行验证，公司已全面覆盖存储器刻蚀用中各类超高深宽比需求。同时，公司以行业领先的研发速度，在短时间内成功开发出十多种薄膜设备。