近期，AI驱动全球算力基础设施加速扩张，晶圆设备市场（WFE）景气度持续上行。招商证券指出，2026年WFE市场规模预计超1400亿美元，且2027年同比增速有望进一步提升；科磊（KLA）FY26Q3财报显示半导体质量控制业务收入同比增长12.6%，其中存储相关检测收入大增46.1%，印证HBM及先进制程扩产对前道量测设备的强劲拉动。与此同时，台积电、美光等海外龙头资本开支显著上调，叠加国内“两存”及中芯国际加速扩产，半导体设备行业正迎来国产化替代与全球AI资本开支双轮驱动的新阶段。

　　此外，AI算力需求爆发正重塑半导体设备产业逻辑，存储产业链进入超级上行周期。华创证券分析指出，全球存储厂大规模扩产叠加地缘政治下国产化替代进程提速，为国内设备厂商提供广阔成长空间；北方华创2025年集成电路设备营收同比增长超50%，刻蚀与薄膜设备收入均突破百亿元，据Gartner数据已位列全球集成电路装备企业第六位，平台型龙头地位持续夯实。随着国内先进制程与存储扩产节奏加快，设备验证与订单落地明显提速，国产设备厂商有望深度受益于这一结构性上行周期。

　　中信建投证券强调，半导体设备是AI算力新基建的底层基石——全球AI资本开支持续上修，光模块、服务器、液冷等环节高景气反向拉动上游设备需求；而国内晶圆厂扩产节奏未受外部扰动影响，中芯国际2026年计划新增4万片12英寸月产能，长鑫存储投入350亿元攻坚DDR5与HBM，设备验证周期明显缩短。

　　场内ETF方面，截至2026年5月6日 10:50，中证半导体材料设备主题指数(931743)强势上涨3.95%，半导体设备ETF广发(560780)上涨3.79%，盘中最高涨近7%。成份股神工股份上涨12.63%，上海合晶上涨9.03%。前十大权重股合计占比65.46%，其中权重股拓荆科技上涨7.03%，第一大权重股中微公司涨超5%，江丰电子、南大光电等跟涨。拉长时间看，截至2026年4月30日，半导体设备ETF 广发近2周累计上涨12.27%。

　　规模方面，截至2026年4月30日，半导体设备ETF广发最新规模达38.32亿元，创近1月新高。

　　半导体设备ETF广发(560780)：紧密跟踪中证半导体材料设备主题指数，根据申万三级行业分类，指数重仓半导设备超65%、半导体材料超22%，合计权重超87%。涵盖中微公司、北方华创、拓荆科技等设备龙头公司。场外联接(A：020639；C：020640)。